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크린룸 장비 |
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크린룸 대표적 기초장비는 Air Shower, Hepa Box, Fan Filter Unit, Pass Box, Relief Damper, Clean Booth, Clean Bench 등으로 분류할 수 있다. |
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 | 1) Air Shower |
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●Air Shower System의 특징
1. 특수 Fan으로 가압한 공기를 Hepa Filter를 통하여 청정화 시켜 고속으로 불어주어 대상물에 부착된 먼지, 세균을 제거합니다.
(0.3㎛입자99.97%이상)
2. 장비 실내압을 크린룸 내 압력보다 낮게 하여 발생된 먼지가 청정실내로 유입되지 않게 되어 있습니다.
3. 작업자가 장비내 입실 시 Fan이 작동하는 동시에 크린룸 측 Door에 Locking 장치가 작동 Shower 시간동안은 입실할 수 없도록 있습니다. |
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● Specification
| Type |
AS-10 |
AS-20 |
AS-30 |
Dimention
(W)
Dimention
(W)
Dimention
(W) |
1,500mm
1,000mm
2,200mm |
1,700mm
1,000mm
2,200mm |
1,700mm
1,500mm
2,200mm |
| Filter Efficiency |
0.3㎛ DOP 99.97% |
| Filtering Efficiency |
Pre Filter-Non Woven Fabric Filter, Main Filter-HEPA Filter |
| Air Velocity(m/s) |
25m/s Over |
| Air Volume(CMM) |
10㎣/min |
20㎣/min |
30㎣/min |
| Number of Nozzles(EA) |
8 |
16 |
24 |
| ShoweringTime |
1~30sec (Adjustable) |
| Operation |
Sensor Touch, Air jet(Auto/Man) Fan Timer |
| Power Source |
3 Φ x 380 / 220V x 50 / 60Hz |
| FI.Lamp |
20w x 1EA |
40w x 1EA |
40w x 1EA |
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| 2) Hepa Box |
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| Hepa Filter를 내장시킨 장치로서 천장 토출구에 간단하게 조합 시킨것으로 이 장치는 Lamniar 또는 Conventional Type의 Clean Room에 사용한다. |
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● Specification
| Type |
HB-09 |
HB-18 |
HB-32 |
HB-45 |
Dimention
(WxDxH) |
670mm x 365mm x 500mm |
670mm x 670mm x 600mm |
670mm x 670mm x 750mm |
670mm x 830mm x 750mm |
| Air Volum(CMM) |
9㎡ / min |
18㎡ / min |
32㎡ / min |
32㎡ / min |
| Filter Size |
610 x 305 x 150T |
610 x 610 x 150T |
610 x 610 x 292T |
610 x 762x 292T |
| Filter Efficiency |
0.3㎛ DOP 99.97% |
| Filter |
HEPA Filter |
※ Filter풍량은 표준 Filter 기준 |
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3) Fan Filter Unit
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Central Duct 방식으로 피할 수 없는 Cross Contamination을 각 실에 독립된 Fan Filter Unit 로 Clean Room을 해결한다. 무단변속 스위치의 조정에 따라 토출 풍속이 조절되어 Class 100까지 청정도를 높일 수 있다.
Unit 를 천장 내에 내장하므로 기계실 Duct Space가 필요하지 않으므로 Space를 최소화 한다. 기존건물에서의 닥트 설치 Space절약을 위한 경우에도 최적의 System이다. |
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● Specification
| Type |
FFU-600 |
FFU-900 |
FFU-1200 |
FFU-1400 |
| Dimention(WxDxH) |
1.172mm x 572mm x 338mm |
1,172mm x 872mm x 338mm |
1,172mm x 1,172mm x 357mm |
1,472mm x 722mm x 349mm |
| Air velocity |
0.35m/s |
| Sound Level |
55dB |
55dB |
57dB |
55dB |
| Vibration |
5㎛ |
| External Static Pressure |
9mmAq |
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| 4) Relief Damper |
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| 실내의 압력을 일정하게 유지하고 공기의 흐름방향을 제어하여 실내외 또는 인접실과의 공기 차압을 제어하는 기기로 실외 오염공기가 역류하여 크린룸을 오염시키는 것을 방지한다. |
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| 5) Clean Booth |
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크린부스는 헤파필터가 상부에 내장되고 비닐 커텐으로 둘러싸인 이동이 가능한 구조물로 설계는 단순하지만 그 개념은 수직층류형 크린룸으로써 Class 100까지의 고레벨의 청정도를 제공한다.
천정에 설치된 헤파필터를 통과한 공기가 부스 내로 유입되어 하부로 빠져나가며 부스내는 약간의 양압이 유지되어 외부의 공기가 유입되지 않으므로 항상 고청정도를 유지할 수 있다. |
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● Specification
| Type |
CB-A |
CB-B |
CB-C |
CB-D |
| Frame Work |
Frame Work |
Steel 1.2mm & 1.6mm |
| Enclosure |
Fire retardant vinyl film hemmed with stainless steel chain |
| Air Filters |
hepa filter over 99.9% efficiency on 0.3 ㎛ DOP. Prefilter non-woven synthetic fiber |
| Cleanliness |
Class 100 |
Class 1,000 |
Class 10,000 |
| Air Volume |
36㎡/min |
49㎡/min |
20㎡/min |
10㎡/min |
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6) Clean Bench |
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크린벤치는 수직층류형과 수평층류형이 있으며,작업 테이블 위의 다양한 설비기기를 조립하는 것이 가능하고 작업범위 내에서 외부의 오염 공기가 작업공간에 유입되지 않게 소정의 청정도가 확보되어 조립 등의 작업이 특히 용이하다.
● Specification
| Type |
CBV-A |
CBV-B |
CBV-C |
CBV-D |
| Air Velocity(m/s) |
줄합치기 "Filter 하단(수직형),Filter 전면(수평형)100mm에서 0.4m/s over
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| Air Volume(CMM) |
20 |
26 |
32 |
38 |
| Filter Effciency(%) |
0.3㎛ DDP 99.97% or, 0.1㎛ DOP 99.999% 중 선택 |
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| 7) Pass Box |
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패스박스는 크린룸과 일반실의 경계에 설치하여 사람이 출입하지 않고 물품의 출입을 가능케 하여 오염공기의 유입이나 청정공기의 유출을 막는 장치이다.
● Specification
| PB-40 |
PB-50 |
PB-60 |
| 400mm x 400mm x 400mm |
500mm x 500mm x 500mm |
600mm x 600mm x 600mm |
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| 8) Blower Filter Unit |
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Blower Filter Unit 는 Filter 유니트에 소형 Blower가 부착되어 있으며 Class 100 ~ 100,000 까지의 청정도를 쉽게 얻을 수 있습니다.
Duct 로 연결되는 Type과 자체적으로 순환되어 사용하는 Type이 있습니다. |
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● Specification
| Type |
T1-BFU 09 |
T1-BFU 18 |
T1-BFU 36 |
T1-BFU 45 |
| 처리풍량 |
9CMM |
18CMM |
36CMM |
45CMM |
| Filter |
Pre |
A.F.I 85% 이상 |
| HEPA |
610 x 305 x 150T |
610 x 610 x 150T |
610 x 610 x 292T |
610 x 762 x 292T |
| 재질 |
포집율(%) |
0.3 @ 99.7%이상 (D.O.P Test) |
| Unit |
Back-finished steel plate |
| Air outlet |
Bake-finished steel punching plate |
| 도장색 |
Ivory |
| 전원사양 |
Av 3 x 220/380V x 60Hz |
| 장비외형크기 |
845W x 365D x 400H |
1150W x 670D x 400H |
1150W x 670D x 600H |
1150W x 830D x 600H |
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9) Clean Locker |
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본 장비는 Clean Room 내에 출입하는 작업자의 의복(무진복)을 보관하는 것으로 의복의 청정화와 그 오염방지를 위한 장치이다.
● Specification
| Type |
CL900 |
CL1200 |
CL-1500 |
CL-2000 |
| Air Velocity(m/s) |
토출부 하부 100mm 에서 0.3m/sec ± 10% |
| Air Velocity(CMM) |
6 |
8 |
10 |
13.3 |
| Vibration(㎛) |
X, Y, Z 축 < 3 |
| Filter Efficiency(%) |
0.3㎛ DOP 99.97%over or, 0.1㎛ DOP 99.999% 중 선택 |
| Power |
3 φ x 380/220V x 50/60Hz |
| Power |
220V |
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