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크린룸 장비
  크린룸 대표적 기초장비는 Air Shower, Hepa Box, Fan Filter Unit, Pass Box, Relief Damper, Clean Booth, Clean Bench 등으로 분류할 수 있다.
 
1) Air Shower  
Air Shower System의 특징
1. 특수 Fan으로 가압한 공기를 Hepa Filter를 통하여 청정화 시켜 고속으로 불어주어 대상물에 부착된 먼지, 세균을 제거합니다.
(0.3㎛입자99.97%이상)
2. 장비 실내압을 크린룸 내 압력보다 낮게 하여 발생된 먼지가 청정실내로 유입되지 않게 되어 있습니다.
3. 작업자가 장비내 입실 시 Fan이 작동하는 동시에 크린룸 측 Door에 Locking 장치가 작동 Shower 시간동안은 입실할 수 없도록 있습니다.
 

Specification
Type AS-10 AS-20 AS-30
Dimention (W)
Dimention (W)
Dimention (W)
1,500mm
1,000mm
2,200mm
1,700mm
1,000mm
2,200mm
1,700mm
1,500mm
2,200mm
Filter Efficiency 0.3㎛ DOP 99.97%
Filtering Efficiency Pre Filter-Non Woven Fabric Filter, Main Filter-HEPA Filter
Air Velocity(m/s) 25m/s Over
Air Volume(CMM) 10㎣/min 20㎣/min 30㎣/min
Number of Nozzles(EA) 8 16 24
ShoweringTime 1~30sec (Adjustable)
Operation Sensor Touch, Air jet(Auto/Man) Fan Timer
Power Source 3 Φ x 380 / 220V x 50 / 60Hz
FI.Lamp 20w x 1EA 40w x 1EA 40w x 1EA

 
2) Hepa Box  
Hepa Filter를 내장시킨 장치로서 천장 토출구에 간단하게 조합 시킨것으로 이 장치는 Lamniar 또는 Conventional Type의 Clean Room에 사용한다.  
 
Specification
Type HB-09 HB-18 HB-32 HB-45
Dimention
(WxDxH)
670mm x 365mm x 500mm 670mm x 670mm x 600mm 670mm x 670mm x 750mm 670mm x 830mm x 750mm
Air Volum(CMM) 9㎡ / min 18㎡ / min 32㎡ / min 32㎡ / min
Filter Size 610 x 305 x 150T 610 x 610 x 150T 610 x 610 x 292T 610 x 762x 292T
Filter Efficiency 0.3㎛ DOP 99.97%
Filter HEPA Filter
※ Filter풍량은 표준 Filter 기준
 
3) Fan Filter Unit
  Central Duct 방식으로 피할 수 없는 Cross Contamination을 각 실에 독립된 Fan Filter Unit 로 Clean Room을 해결한다. 무단변속 스위치의 조정에 따라 토출 풍속이 조절되어 Class 100까지 청정도를 높일 수 있다.
Unit 를 천장 내에 내장하므로 기계실 Duct Space가 필요하지 않으므로 Space를 최소화 한다. 기존건물에서의 닥트 설치 Space절약을 위한 경우에도 최적의 System이다.
 
Specification
Type FFU-600 FFU-900 FFU-1200 FFU-1400
Dimention(WxDxH) 1.172mm x 572mm x 338mm 1,172mm x 872mm x 338mm 1,172mm x 1,172mm x 357mm 1,472mm x 722mm x 349mm
Air velocity

0.35m/s

Sound Level 55dB 55dB 57dB 55dB
Vibration 5㎛
External Static Pressure 9mmAq
 
4) Relief Damper  
실내의 압력을 일정하게 유지하고 공기의 흐름방향을 제어하여 실내외 또는 인접실과의 공기 차압을 제어하는 기기로 실외 오염공기가 역류하여 크린룸을 오염시키는 것을 방지한다.  
 
5) Clean Booth  
크린부스는 헤파필터가 상부에 내장되고 비닐 커텐으로 둘러싸인 이동이 가능한 구조물로 설계는 단순하지만 그 개념은 수직층류형 크린룸으로써 Class 100까지의 고레벨의 청정도를 제공한다.
천정에 설치된 헤파필터를 통과한 공기가 부스 내로 유입되어 하부로 빠져나가며 부스내는 약간의 양압이 유지되어 외부의 공기가 유입되지 않으므로 항상 고청정도를 유지할 수 있다.
 
 
Specification
Type CB-A CB-B CB-C CB-D
Frame Work Frame Work Steel 1.2mm & 1.6mm
Enclosure Fire retardant vinyl film hemmed with stainless steel chain
Air Filters hepa filter over 99.9% efficiency on 0.3 ㎛ DOP. Prefilter non-woven synthetic fiber
Cleanliness Class 100 Class 1,000 Class 10,000
Air Volume 36㎡/min 49㎡/min 20㎡/min 10㎡/min
 
  6) Clean Bench
  크린벤치는 수직층류형과 수평층류형이 있으며,작업 테이블 위의 다양한 설비기기를 조립하는 것이 가능하고 작업범위 내에서 외부의 오염 공기가 작업공간에 유입되지 않게 소정의 청정도가 확보되어 조립 등의 작업이 특히 용이하다.

Specification
Type CBV-A CBV-B CBV-C CBV-D
Air Velocity(m/s)

줄합치기 "Filter 하단(수직형),Filter 전면(수평형)100mm에서 0.4m/s  over

Air Volume(CMM) 20 26 32 38
Filter Effciency(%) 0.3㎛ DDP 99.97% or, 0.1㎛ DOP 99.999% 중 선택
 
7) Pass Box  
패스박스는 크린룸과 일반실의 경계에 설치하여 사람이 출입하지 않고 물품의 출입을 가능케 하여 오염공기의 유입이나 청정공기의 유출을 막는 장치이다.

Specification
PB-40 PB-50 PB-60
400mm x 400mm x 400mm 500mm x 500mm x 500mm 600mm x 600mm x 600mm
 
 
8) Blower Filter Unit  
Blower Filter Unit 는 Filter 유니트에 소형 Blower가 부착되어 있으며 Class 100 ~ 100,000 까지의 청정도를 쉽게 얻을 수 있습니다.
Duct 로 연결되는 Type과 자체적으로 순환되어 사용하는 Type이 있습니다.
 
 
Specification
Type T1-BFU 09 T1-BFU 18 T1-BFU 36 T1-BFU 45
처리풍량 9CMM 18CMM 36CMM 45CMM
Filter Pre A.F.I 85% 이상
HEPA 610 x 305 x 150T 610 x 610 x 150T 610 x 610 x 292T 610 x 762 x 292T
재질 포집율(%) 0.3 @ 99.7%이상 (D.O.P Test)
Unit Back-finished steel plate
Air outlet Bake-finished steel punching plate
도장색 Ivory
전원사양 Av 3 x 220/380V x 60Hz
장비외형크기 845W x 365D x 400H 1150W x 670D x 400H 1150W x 670D x 600H 1150W x 830D x 600H
 
  9) Clean Locker
  본 장비는 Clean Room 내에 출입하는 작업자의 의복(무진복)을 보관하는 것으로 의복의 청정화와 그 오염방지를 위한 장치이다.

Specification
Type CL900 CL1200 CL-1500 CL-2000
Air Velocity(m/s) 토출부 하부 100mm 에서 0.3m/sec ± 10%
Air Velocity(CMM) 6 8 10 13.3
Vibration(㎛) X, Y, Z 축 < 3
Filter Efficiency(%) 0.3㎛ DOP 99.97%over or, 0.1㎛ DOP 99.999% 중 선택
Power 3 φ x 380/220V x 50/60Hz
Power 220V